Патент №2231053 - Способ изготовления датчика для анализа сероводорода в газовой среде
Изобретение относится к полупроводниковой сенсорной технике. Технический результат изобретения - снижение рабочей температуры датчика, упрощение технологии изготовления. Сущность: способ включает напыление газочувствительного слоя фталоцианина меди на монокристаллическую пластинку из арсенида галлия и его легирование кислородом в низком вакууме. В результате чего получают датчик на основе гетероперехода n-GaAs/p-CuPc. 2 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК G01N 27/00 | Исследование или анализ материалов с помощью электрических, электрохимических или магнитных средств |