Патент №2233490 - Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством механической модификации поверхности объекта

Сканирующий зондовый микроскоп содержит корпус, на котором установлено сканирующее устройство по трем координатам с держателем зонда, держатель объекта, устройство позиционного перемещения зонда относительно объекта, содержащее первый привод, устройство предварительного сближения держателя с держателем объекта и устройство модификации поверхности объекта. Устройство модификации поверхности объекта выполнено в виде пуансона, сопряженного с механизмом перемещения держателя объекта относительно пуансона по криволинейной траектории со смещением на толщину механической модификации, соединенным со вторым приводом. Механизм перемещения держателя объекта включен в состав устройства позиционного перемещения зонда относительно объекта или устройства предварительного сближения держателя зонда с держателем объекта. Механизм перемещения держателя объекта относительно пуансона может быть выполнен в виде балки, установленной на корпусе и сопряженной первым концом с держателем объекта, а вторым концом со вторым приводом. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 11 з.п. ф-лы, 3 ил.