Патент №2234186 - Высокочастотный пьезоэлемент

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности, касается пьезоэлектронной промышленности, выпускающей резонаторы, генераторы, фильтры и другие приборы, работающие на объемных акустических волнах в диапазоне частот от 50 до 1000 МГц. Техническим результатом является улучшение электрофизических параметров устройств, работающих на объемных акустических волнах, а также обеспечивание их миниатюризации. Сущность изобретения состоит в выполнении высокочастотного пьезоэлемента, имеющего топологию инвертированной мезаструктуры "открытого" типа. Пьезоэлемент выполнен в форме профилированной монолитной пьезоэлектрической пластины с утонченной вибрирующей областью. Пластина имеет форму многогранника с вертикальным сечением Т- или Г-образной формы, при этом активная область ограничена кристаллографическими плоскостями (XZ). 1 з.п. ф-лы, 3 ил.