Патент №2234679 - Микромеханический датчик угловой скорости

Изобретение может применяться в интегральных гироскопах, использующих вибрирующие массы. Датчик содержит основание 1, четыре подвижные массы 1, 6, 9 и 10, Г-образные балки для подвеса подвижных масс и центральную площадку 7, к которой крепятся балки. Каждая подвижная масса подвешена на двух балках, а центральная площадка 7 жестко соединена с основанием. Все колебания системы совершаются только в одной плоскости. Техническим результатом является повышение добротности колебательной системы прибора и повышение за счет этого точности, а также упрощение настройки прибора. 2 ил.