Патент №2240503 - Дифракционный интерферометр (варианты)

Дифракционный интерферометр для контроля формы вогнутых поверхностей и зеркал второго порядка содержит последовательно расположенные на главной оптической оси контролируемую поверхность, фазовую пластинку /4, зонную пластинку, центр которой совпадает с центром кривизны контролируемой поверхности, светоделитель, выполненный в виде поляризационного кубика, выходную диафрагму, проекционный объектив, регистрирующее устройство. Также содержит осветитель, оптическая ось которого перпендикулярна главной оптической оси, и состоящий из источника света и объектива, формирующего сходящийся пучок лучей. Оси фазовой пластинки /4 ориентированы под углом 45° к вектору поляризации светоделительного кубика. Технический результат - повышение точности, надежности и помехозащищенности измерений при контроле погрешности изготовления поверхностей второго порядка. 2 н. п. ф-лы, 5 ил.