Патент №2240524 - Течеискатель

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и предназначено для использования при проведении испытаний устройств на герметичность. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности течеискателя, что обеспечивает более качественный контроль герметичности изделий. Это обеспечивается за счет того, что течеискатель содержит соединенные между собой трубопроводами масс-спектрометрический анализатор с расположенными в нем ионным источником и приемником ионов, высоковакуумный насос, первый и второй клапаны, первый и второй регулирующие клапаны, входной и выходной трубопроводы, а также средства питания, управления и индикации, при этом входной трубопровод через первый регулирующий клапан соединен с масс-спектрометрическим анализатором, который соединен с входом высоковакуумного насоса, выход которого через первый клапан соединен с выходным трубопроводом, а через второй регулирующий клапан - с масс-спектрометрическим анализатором, кроме того, входной и выходной трубопроводы соединены между собой через второй клапан. 4 з.п.ф-лы, 2 ил.