Патент №2242715 - Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, наносимых на прозрачный носитель

Способ измерения точности изготовления углоизмерительных структур, наносимых на прозрачный носитель, заключается в размещении на едином вращающемся валу двух прозрачных носителей с углоизмерительными структурами, из которых один - контролируемый, а другой - эталонный, формировании теневых изображений элементов топологии обоих структур, регистрирации с помощью фотоэлектрических преобразователей теневых изображений элементов структур и сравнении взаимного положения зарегистрированных сигналов, по изменениям которых судят о точности изготовления контролируемой структуры. При этом сформированное теневое изображение элементов топологии контролируемой структуры дополнительно направляют точно назад по оси прошедшего пучка и после повторного прохождения контролируемой структуры регистрируют указанное теневое изображение, которое сравнивают с эталонным. Технический результат - снижение погрешностей и повышение достоверности результатов измерения точности изготовления углоизмерительных структур. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.