Патент №2253695 - Пористые газопоглотительные устройства со сниженной потерей частиц и способ их изготовления

Изобретение относится к способу изготовления пористых газопоглотительных устройств с пониженной потерей частиц и к устройствам, изготавливаемым этим способом. Предложенный способ включает формирование покрытия с толщиной по меньшей мере 0,5 мкм на поверхности пористого газопоглотительного тела. Покрытие формируют из материала, совместимого с условиями использования газопоглотительного устройства и выбранного из числа переходных металлов, редкоземельных элементов и алюминия, путем испарения, осаждения из генерируемой дуговым разрядом плазмы, осаждения из ионного пучка или катодного осаждения, при этом частицы газопоглотительного тела покрывают покрытием частично на внешней поверхности указанного газопоглотительного тела. Предложенное устройство изготавливают заявленным способом. Техническим результатом изобретения является разработка способа, обеспечивающего изготовление пористых газопоглотительных устройств со сниженной потерей частиц. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 3 ил.

Патент №2253695, изображение 1
Патент №2253695, изображение 2
Патент №2253695, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/16Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - на металлическую подложку или на подложку из бора или кремния
МПК C23C 14/24Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - вакуумное испарение
МПК C23C 14/34Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - распыление металлов
МПК C23C 14/46Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника 14/40 имеет преимущество
МПК C23C 4/08Способы покрытия путем распыления материала в расплавленном состоянии, например пламенное, плазменное или дуговое напыление - содержащие только металлы
МПК C23C 4/12Способы покрытия путем распыления материала в расплавленном состоянии, например пламенное, плазменное или дуговое напыление - характеризуемые способом распыления
МПК F04B 37/04Насосы и компрессоры, не отнесенные к группам 25/00 - выбор абсорбционных или адсорбционных материалов
МПК H01J 7/18Конструктивные элементы и особенности, не указанные в группах 1/00 - устройства для абсорбции или адсорбции газа, например с помощью газопоглотителей