Патент №2261416 - Емкостный способ контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий. Технический результат: расширение диапазона контролируемой толщины покрытий и возможность контроля толщины тонких пленок и покрытий из различных, в том числе и проводящих, материалов. Сущность: паровой поток пропускают через верхнюю обкладку конденсатора, выполненную перфорированной или в виде сетки, и осаждают на приемной обкладке. Приемную обкладку выполняют сплошной, перфорированной или в виде сетки и сдвигают ее относительно перфорации или сетки верхней обкладки на часть периода. Рядом с конденсатором располагают второй конденсатор, защищенный от парового потока осаждаемого материала экраном и имеющий общую верхнюю обкладку. Измеряют емкость конденсатора, помещенного в паровой поток осаждаемого материала и обращенного обкладками к его источнику. Рассчитывают приращение емкости. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.