Патент №2262151 - Мишень для ионно-плазменного нанесения пленочных покрытий сложного состава и способ ее изготовления

Изобретение относится к технологии тонких пленок и может быть использовано при изготовлении многокомпонентных пленочных покрытий для электронной, атомной и других областей науки и техники. Мозаичная мишень состоит из матрицы и размещенных в углублениях матрицы распыляемых элементов. Распыляемые элементы размещены в матрице в виде порошков, имеющих различную плотность и площадь поверхности, зависимость между которыми определяется свойствами элементов и стехиометрическими коэффициентами или процентным содержанием компонентов материала пленки. Предложен также способ изготовления заявленной мишени. Техническим результатом изобретения является повышение качества покрытий сложного состава. 2 н.п. ф-лы, 2 ил., 2 табл.