Патент №2262767 - Способ окончательной герметизации микросборки

Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии окончательной сборки герметичных микросборок, имеющих вакуум или иную среду внутри, и может быть использовано в приборостроительной промышленности в технологии сборки герметичных приборов, закрытых металлической крышкой (кожухом). В крышке корпуса микросборки выполняется отверстие, форма которого позволяет зафиксировать металлический шарик и препятствует попаданию расплавленного металла и луча лазера во внутренний объем микросборки. Собранное изделие помещают в вакуумную камеру, производят откачку воздуха в камере до заданного значения, устанавливают металлический шарик в отверстие и, не прекращая процесс откачки, заваривают отверстие лучом лазера через окно в вакуумной камере, направляя луч лазера по месту стыка шарика с крышкой, образуя тем самым кольцевой сварной шов. Техническим результатом изобретения является повышение качества герметичности микросборок. 2 ил.