Патент №2267459 - Способ получения силана

Изобретение относится к технологии получения силана для изготовления особо чистого полупроводникового кремния, используемого в силовой электронике, а также кремниевых пластин для производства сверхбольших интегральных схем и для формирования различных кремнийсодержащих слоев и пленочных покрытий в микроэлектронике. Силицид лития помещают в реактор барабанного типа, затем реактор вакуумируют, нагревают и впрыскивают вовнутрь пары дистиллированной воды, в течение 2-3 часов, при температуре 90-95°С. После 3-часовой обработки силицида к нему добавляют несколько капель дистиллированной воды для дополнительного извлечения кремния в виде силана. Выход силана 50-53%. Результат изобретения: получение более чистого силана и снижение взрывоопасности процесса.