Патент №2282257 - Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа и близкопольного оптического микроскопа. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством механической модификации поверхности объекта, содержит криогенную камеру, первый механизм перемещения держателя объекта, первую платформу с пуансоном, сканирующее устройство по трем координатам с держателем зонда, сопряженное с устройством предварительного сближения держателя зонда и держателя объекта, базовый элемент. Сканирующее устройство установлено на устройстве предварительного сближения посредством переходника. Устройство предварительного сближения закреплено на первой платформе. Держатель зонда, сканирующее устройство по трем координатам, переходник, базовый элемент и первый механизм снабжены соответственно первым, вторым, третьим, четвертым и пятым термокомпенсаторами. Между держателем зонда и держателем объекта установлен соединительный элемент. Технический результат - повышение разрешающей способности прибора. 13 з.п ф-лы, 11 ил.