Патент №2282902 - Способ сканирования объектов с помощью сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа, атомно-силового микроскопа, близкопольного оптического микроскопа и др. Объект устанавливают на первом пьезосканере. Над исследуемой поверхностью объекта помещают второй пьезосканер с зондом. Производят сближение зонда с поверхностью объекта. Используя взаимное перемещение обоих пьезосканеров, осуществляют сканирование. Оба пьезосканера включают в противофазе по каждой из координат сканирования. Используют два пьезосканера с эквивалентными активными элементами. Положение одного из пьезосканеров измеряют по каждой из координат сканирования. Величины перемещений определяют по результатам измерений. Сканирование осуществляют путем вращения зонда и образца вокруг соответствующих фиксированных центров. Технический результат - повышение разрешения способа сканирования, способ позволяет отключать, по крайней мере, одну из координат на одном из сканеров. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.