Патент №2287129 - Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством срезания тонких слоев объекта

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров, физических характеристик поверхности и распределения этих характеристик в объеме объекта путем срезания тонких слоев объекта с последующим исследованием вновь образованных поверхностей объекта. СЗМ, совмещенный с устройством срезания тонких слоев объекта, содержит корпус с расположенным в нем трехкоординатным пьезосканером с держателем зонда и зондом, нож, держатель объекта, а также устройство позиционного перемещения зонда относительно объекта. Держатель объекта установлен на механизме его перемещения относительно ножа по криволинейной траектории со смещением на толщину среза. Механизм сопряжения устройства позиционного перемещения зонда с держателем объекта выполнен в виде опорной плиты, расположенной в плоскости смещения по двум координатам устройства позиционного перемещения зонда. Опорная плита имеет три опоры. Одна регулируемая по высоте опора установлена в вертикальной плоскости, проходящей по оси системы зонд - объект. Две поворотные опоры разнесены относительно этой плоскости. Две поворотные опоры могут быть выполнены в виде цапф с осями, закрепленными в корпусе микроскопа. Опорная плита может иметь возможность сдвига по фигурным пазам в каждой из поворотных опор. Технический результат - повышение точности измерений и значительное расширение функциональных возможностей. 1 ил.