Патент №2291449 - Эмиссионный датчик механических и термодинамических величин

Изобретение относится к микроструктурным устройствам, содержащим гибкие элементы, в частности подвижные относительно друг друга электроды, что позволяет использовать их как датчики механических и термодинамических величин, таких как ускорение, температура и давление. Эмиссионный датчик содержит два электрода, расположенных в вакууме напротив друг друга на расстоянии d, по крайней мере один из которых является подвижным и изготовлен в виде участка металлизации на упругой пластине, установленной на опоре. Оба упомянутых электрода выполнены плоскими, с характерными размерами L1 и L2, удовлетворяющими соотношению h