Патент №2295791 - Кабель для электропитания генераторов низкотемпературной плазмы

Изобретение относится к области электропитания высоковольтных устройств, формирующих потоки низкотемпературной плазмы, и может быть использовано в микроэлектронике и дифракционной оптике при производстве интегральных микросхем и дифракционных решеток. Данная задача решается за счет того, что в кабель электропитания генераторов низкотемпературной плазмы, содержащий фторопластовую оболочку в форме полого цилиндра, установлен токопроводник, на токопроводник надеты по легкоскользящей посадке стабилизирующие диски и разделительные элементы, причем размер внешнего диаметра диска составляет 0,9D, где D - внутренний диаметр изолирующей оболочки, а сечение стабилизирующего диска имеет форму угла, изменяющегося в диапазоне 60°> >30°, внешняя поверхность дисков закруглена и касается поверхности внутреннего диаметра оболочки в точке, между дисками расположены разделительные элементы в форме трубочки длиной, равной 0,5D-D, и внешним диаметром, равным 0,2-0,3D, расстояние между стабилизирующими дисками выполняется равным 0,5-1D, изолирующая оболочка залита вакуумностойкой изолирующей жидкостью. Изолирующая оболочка, стабилизирующие диски и разделительные элементы выполнены из вакуумного диэлектрического материала, например фторопласта. Изобретение увеличивает стойкость кабеля к электрическому пробою при работе в условиях вакуума. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.