Патент №2306524 - Многозондовый модуль для сканирующего микроскопа

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, а более конкретно, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов. Сущность: многозондовый модуль для сканирующего микроскопа содержит кассету с зондами, сопряженную с приводом вращения, закрепленным на основании. Кроме того, дополнительно введен трубчатый пьезосканер, одним концом закрепленный на основании и содержащий фланец. Кассета выполнена в виде набора кронштейнов с зондами, установленных на фланце с возможностью подвижек относительно него и взаимодействия с толкателем, сопряженным с приводом вращения. Зонды выполнены в виде кварцевых резонаторов с остриями. Представлены варианты, в которых кронштейны установлены на фланце посредством плоских пружин, либо через шарниры. Толкатель может быть выполнен в виде упора, установленного в обойме, с возможностью взаимодействия с кронштейнами и фланцем, при этом обойма расположена с возможностью вращения относительно фланца. Толкатель выполнен в виде первой платформы с тремя опорами, первые концы которых сопряжены с фланцем, а вторые концы расположены с возможностью взаимодействия с кронштейнами, при этом формы профилей вторых концов опор от края до середины изменяются по закону у=1/х2. Толкатель выполнен в виде второй платформы с тремя роликами, расположенными с возможностью взаимодействия с фланцем и кронштейнами и установленными на второй платформе с возможностью вращения. Возможен вариант, в котором толкатель сопряжен с приводом вращения с возможностью размыкания с ним. На фланце может быть закреплен контактный элемент, а кварцевые резонаторы расположены с возможностью взаимодействия с ним электрическими выводами. Технический результат: повышение точности измерений и надежности устройства. 8 з.п. ф-лы, 6 ил.