Патент №2315265 - Микромеханический гироскоп

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. ММГ содержит основание из кремния с установленными на нем через изолирующие слои статорами и опорой, на которой с помощью торсионов подвешен ротор, крышку из кремния с нанесенным на нем изолирующим слоем, на котором расположены электроды, и электронный блок с источником питания, при этом сигнальные выводы электронного блока соединены с выводами от статоров, ротора и электродов. По периметру основания и крышки нанесены слои металлизации, свариваемые между собой при сборке гироскопа, выводы от статоров, ротора и электродов. Наличие дополнительного вывода от слоя металлизации, соединенного с источником питания, позволяет уменьшить влияние паразитных связей между каналами возбуждения первичных колебаний и преобразования выходного сигнала. 5 ил.