Патент №2317251 - Способ получения трифторида азота

Изобретение относится к процессам получения трифторида азота, который может быть использован в качестве источника фтора для синтеза фторолефинов, как окислитель высокоэнергетических топлив в ракетной технике, в качестве сухого травильного вещества для полупроводников, кремниевых пластин, больших интегральных схем в электронной промышленности. Способ получения трифторида азота содержит стадию синтеза трифторида азота фторированием расплава бифторида аммония фтором и стадию очистки синтезированного трифторида азота, включающую абсорбционное извлечение примесей щелочным раствором и удаление влаги из газового потока. Способ дополнительно содержит стадию очистки фтора, включающую термическое разложение фторида кислорода при температуре 300-350°С на никелевой насадке с развитой поверхностью и удаление труднолетучих примесей криогенной конденсацией при температуре минус 170 - минус 180°С с последующей криогенной ректификацией при давлении 0,15-0,17 МПа, а стадия очистки трифторида азота включает термическое разложение побочных фторидов азота и удаление легколетучих примесей криогенной ректификацией при давлении 0,3-0,5 МПа. По результатам аналитического контроля суммарное содержание примесей в целевом продукте не превышало 90 ppm, в том числе содержание тетрафторметана CF4 не превышало 28 ppm. Выход трифторида азота по фтору составил не менее 80%. 4 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 табл.