Патент №2338997 - Способ измерения зазора между электродами и подвижной массой микромеханического устройства и устройство для его реализации

Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. Способ предназначен для микромеханических устройств, содержащих подвижную массу (ПМ), электростатический задатчик силы и датчик перемещения подвижного элемента. Сущность: изменяют напряжение, по крайней мере, на одном из электродов. Измеряют перемещения ПМ, обусловленное этими изменениями напряжения, путем измерения изменения емкости между одним из электродов и ПМ. Определяют зазор, используя зависимость перемещения от напряжения, полученную расчетным путем из выражения вида: М( , d, u)+с =0, где: М - момент, создаваемый электрическим полем при подаче напряжения u на один из электродов; , d - угол наклона и зазор между ПМ и электродами; с - жесткость упругого подвеса ПМ. Устройство для измерения зазора содержит вычислительное устройство, входы которого соединены с выходами источника напряжения и преобразователя емкость-напряжение. Технический результат: увеличение точности измерения зазора. 2 н.п. ф-лы, 6 ил.