Патент №2339191 - Фокусатор газоразрядной плазмы
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных микросхем на активных и пассивных подложках и элементов дифракционной оптики на криволинейных поверхностях. Фокусатор газоразрядной плазмы содержит катод, сетчатый анод, изоляцию и высоковольтный ввод. Катод и сетчатый анод выполнены с кривизной, равной кривизне поверхности обрабатываемого изделия, и располагаются от него на расстоянии 15
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК H01J 37/077 | Разрядные приборы с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда, например с целью их исследования или обработки - электронные пушки с использованием разряда в газах или парах в качестве источников электронов |
| МПК H05H 1/24 | Получение плазмы; управление плазмой - генерирование плазмы |