Патент №2341457 - Способ выделения высокочистого трихлорсилана из реакционной смеси метилхлорсиланов

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться в производстве полупроводникового кремния. Выделение трихлорсилана из реакционной смеси, полученной гидрохлорированием технического кремния, осуществляется ректификацией в двух колоннах с боковым отбором продукта. В первой колонне отбор целевого продукта производится ниже тарелки питания, а во второй колонне - выше тарелки питания. Заданная величина доли отбора метилдихлорсилана из куба первой колонны 0,3÷0,5. Предложенное изобретение позволяет обеспечить минимальные энергозатраты на очистку при необходимом уровне качества трихлорсилана без снижения его выхода. 1 табл.

Патент №2341457, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК C01B 33/107Кремний; его соединения - галогензамещенные силаны