Патент №2345442 - Способ изготовления нанополированных пластин из карбида кремния

Изобретение относится к полупроводниковой технике. Сущность изобретения: в способе изготовления круглых пластин из карбида кремния, содержащем операции калибрования монокристалла, изготовления базового среза, резки монокристалла на пластины, шлифовки пластин, изготовления фаски по кромке пластины, отжига и полировки пластин, полирование пластин проводится в четыре стадии: грубая полировка алмазной пастой с крупным зерном, тонкая полировка алмазной пастой с мелким зерном, нанополировка суспензией на основе силиказолей, содержащей "детонационные" наноалмазы с размером зерна менее 1 мкм, нанополировка суспензией на основе силиказолей, не содержащей твердых абразивных частиц. Изобретение позволяет получить полированные поверхности пластин из карбида кремния с шероховатостью менее 0,5 нм. 1 з.п. ф-лы.