Патент №2346239 - Способ определения коэффициентов перекрестных жесткости и демпфирования подвеса микромеханического гироскопа и микромеханический гироскоп, в котором реализован данный способ

Изобретение относится к гироскопам вибрационного типа, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) с подвижной массой (ПМ). Способ определения коэффициентов перекрестных жесткости и демпфирования подвеса ММГ заключается в измерении сигналов, пропорциональных углам отклонения ПМ вокруг осей первичных и вторичных колебаний, и формировании момента, компенсирующего колебания ПМ вокруг оси вторичных колебаний на неподвижном основании, в формировании момента, компенсирующего колебания ПМ вокруг оси вторичных колебаний на неподвижном основании путем подачи на силовые электроды, расположенные по оси вторичных колебаний, суммы двух переменных напряжений с различными амплитудами. Первое из них синфазно сигналу, пропорциональному углу отклонения ПМ вокруг оси первичных колебаний, а второе ортогонально первому. Коэффициенты перекрестных жесткости и демпфирования подвеса определяются соответственно отношением величины момента к измеренной амплитуде первичных колебаний и к рассчитанной величине скорости этих колебаний. ММГ содержит ПМ, гребенчатый двигатель, емкостной датчик перемещения ПМ по оси первичных колебаний, выход которого соединен с входом фазовращателя, устройство возбуждения первичных колебаний, включенное между емкостными датчиками по оси первичных колебаний и электродами гребенчатого двигателя, две пары электродов по оси вторичных колебаний, одна из которых является силовой, другая - измерительной, к выходу которого подключены последовательно соединенные умножитель и фильтр низкой частоты, второй вход умножителя соединен с выходом фазовращателя. Между парами электродов по оси вторичных колебаний введено устройство формирования переменного напряжения в виде суммы напряжений с различными амплитудами и сдвинутыми друг относительно друга на 90 градусов. Техническим результатом является повышение чувствительности ММГ. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 2 ил., 1 табл.