Патент №2348738 - Испаритель многокомпонентных растворов

Изобретение относится к испарителю многокомпонентных растворов и может быть использовано для формирования тонких пленок двойных, тройных и более сложных растворов. Испаритель содержит заслонку, корпус в виде стакана, нагреватель, размещенный со стороны внешней поверхности корпуса. Внутренняя часть заслонки входит в полость корпуса и выполнена в виде конуса высотой 0,9H>h>d, где Н - высота внутренней полости корпуса, h - высота конусной части заслонки, d - внутренний размер полости корпуса. В верхней ее части по образующей выполнен прямоугольный выступ диаметром, равным D, плотно закрывающий полость корпуса в закрытом состоянии. Технический результат заключается в повышении качества тонких пленок многокомпонентных материалов, который достигается за счет формирования направленного потока атомов многокомпонентного раствора, полностью соответствующего своему стехиометрическому составу, при одновременном увеличении однородности их распределений по поверхности подложки. 2 ил.