Патент №2353998 - Способ изготовления датчика скорости потока газа и жидкости

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для изготовления датчиков скорости потока газа и жидкости в аэродинамике, химии, биологии и медицине. Сущность изобретения: в способе изготовления датчика скорости потока газа и жидкости на планарной поверхности полупроводниковой подложки изготавливают многослойную пленочную структуру, содержащую механически напряженные слои в последовательности: сжатый, растянутый, а также проводящий. Литографически задают рисунок термоанемометра, включающий отделяемый от подложки участок для формирования трубчатого чувствительного элемента под действием механических напряжений и участок тоководов к концам трубчатого чувствительного элемента. Затем на остальной части многослойной пленочной структуры формируют сквозные окна до подложки для последующего травления подложки. На участках тоководов создают низкоомные тоководы, являющиеся и механическими упорами, или дополнительно формируют механический упор для трубчатого чувствительного элемента. Травят материал подложки под участком, предназначенным для формирования трубчатого чувствительного элемента, чем трансформируют его в трубчатый чувствительный элемент. В заключение удалением материала подложки формируют одновременно чип и держатели трубчатого чувствительного элемента, на которых расположены тоководы. Способ обеспечивает повышение механической прочности готовых изделий и повышение точности измерений. 14 з.п. ф-лы, 9 ил.