Патент №2358352 - Способ исследования поверхности твердого тела туннельным микроскопом

Изобретение относится к исследованию микрорельефа как проводящих, так и непроводящих поверхностей образцов твердых тел. Способ исследования поверхности твердого тела сканирующим туннельным микроскопом (СТМ) включает формирование проводящей реплики исследуемой поверхности, сканирование этой реплики туннельным микроскопом с одной стороны, а затем с обратной - этой же иглой, но зеркально развернутой в плоскости сканирования, совмещение прямого и инвертированного обратного СТМ-изображений, реконструкцию реальной поверхности путем сравнения углов наклона касательных в соответствующих точках обеих СТМ-профилограмм. Технический результат - упрощение процесса реконструкции реальной поверхности исследуемого образца по СТМ-профилограммам, повышение ее точности, а также возможность использования сканирующего туннельного микроскопа для исследования как проводящих, так и непроводящих поверхностей. 3 ил.