Патент №2361965 - Способ изготовления фильтрующего элемента и поворотное приспособление для его изготовления

Изобретение относится к способу изготовления фильтрующих элементов и поворотному приспособлению для его осуществления. Фильтрующий элемент изготавливают ионно-плазменным напылением материала катода, выполненного из одного из металлов Ti, Zr, Hf, Cr, Al, Cu, Ni, Nb, или их сплавов, или нержавеющей стали, на пористую полимерную подложку. Подложку помещают на поворотном приспособлении в рабочую камеру. После откачивания рабочей камеры до давления (4-6)·10-5 мм рт.ст. ее заполняют аргоном до давления (1-4)·10-4 мм рт.ст., и проводят обработку низкотемпературной плазмой при токе разряда 40-50 А в течение 30-40 минут при температуре -50 - +150°С. Не выключая источник низкотемпературной плазмы, проводят напыление в том же температурном интервале. Весь процесс осуществляют при постоянном охлаждении подложки, за счет циркуляции охлаждающей среды через внутреннюю полость поворотного приспособления. Поворотное приспособление выполнено в форме цилиндра с поворотным механизмом и натяжным устройством для мембраны, размещенным на внешней поверхности цилиндра. Цилиндр выполнен полым и имеет систему охлаждения. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил.

Патент №2361965, изображение 1
Патент №2361965, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК C23C 14/20Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - на органические подложки
МПК C23C 14/34Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - распыление металлов