Патент №2362838 - Устройство для нанесения нанокластерного покрытия

Изобретение относится к микро- и нанотехнологии. Магнетрон, оснащенный полым трубчатым катодом-мишенью (1), присоединен с помощью электромагнитного направляющего устройства (ЭНУ) к рабочей камере (2), в которой смонтирован держатель (3) обрабатываемого изделия. Магнетрон оборудован дополнительным охлаждаемым катодом-мишенью (5), плоскость распыления которого перпендикулярна боковой поверхности трубчатого катода-мишени (1). ЭНУ состоит из коаксиально расположенных катушки (6) электромагнита, магнитопровода, включающего выполненные из ферромагнитного материала электрически изолированные друг от друга полый цилиндр (7), круглую пластину (8) и кольцеобразный вкладыш (9), установленный непосредственно перед входом в рабочую камеру (2), и алюминиевой втулки (10), отверстие которой выполнено сужающимся по направлению транспортирования плазмы. Трубчатый катод-мишень (1) расположен внутри цилиндра (7), пластина (8) и дополнительный катод-мишень (5) установлены последовательно по направлению транспортирования плазмы со стороны торца трубчатого катода-мишени. Катушка (6) размещена между боковыми стенками цилиндра (7) и трубчатого катода-мишени (1), а втулка (10) присоединена к вкладышу (9) магнитопровода. Технический результат - расширение номенклатуры наносимых нанокластерных покрытий за счет снятия ограничений в отношении количества и свойств компонентов материалов покрытия и подложки. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.