Патент №2379227 - Способ и система для монтажа в корпус устройств на основе мэмс с внедренным газопоглотителем

Изобретение относится к микроэлектромеханическим системам (МЭМС). Технический результат направлен на усовершенствование и создание новых изделий. Система для монтажа в корпус устройств на основе MEMS содержит подложку, устройство на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС), сформированное на подложке, объединительную плату, уплотнение, расположенное вблизи периметра устройства на основе МЭМС и контактирующее с подложкой и объединительной платой. Причем указанное уплотнение содержит клей, химически активный газопоглотитель, находящийся в контакте с уплотнением по внутренней периферии уплотнения. Способ и устройство реализуются вышеуказанной системой. 4 н. и 37 з.п. ф-лы, 10 ил.

Патент №2379227, изображение 1
Патент №2379227, изображение 2
Патент №2379227, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК B81B 7/00Микроструктурные системы