Патент №2380684 - Способ измерения чистоты поверхности подложек

Изобретение относится к измерительной технике в области микроэлектроники и предназначено для измерения чистоты поверхности подложек. Способ заключается, в том, что наносят каплю жидкости на поверхность исследуемой подложки. Далее освещают ее потоком света с равномерным распределением интенсивности по сечению светового потока. Потом фиксируют интенсивность светового потока фотоприемной матрицей, с помощью которой определяют параметры растекания капли жидкости. И проводя сравнение полученных параметров с эталонными судят о чистоте поверхности подложки. В качестве параметра контроля степени чистоты используют длину канала смачиваемости и его ширину при условии выполнения неравенства 16°< <56°, где угол наклона поверхности подложки к горизонту. При этом строят эталонную зависимость параметров растекания капли жидкости от чистоты поверхности подложки, нанесением на которую численных значений ширины или длины канала смачиваемости определяют численное значение чистоты поверхности подложки. Целью предложенного изобретения является повышение точности измерения чистоты поверхности подложки и увеличение производительности. 6 ил.