Патент №2387044 - Способ получения упорядоченных наноструктурированных пленок на основе наночастиц
Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к получению нанострукгурированных тонкопленочных материалов с заданными свойствами для микро- и наноустройств: микро- и наносенсоров, чипов, фотонных кристаллов и т.д. Сущность изобретения: в способе получения упорядоченных наноструктурированных пленок на основе наночастиц путем структурирования подложки и последующего нанесения на него слоя сферических наночастиц материала пленки методом центрифугирования наночастиц из дисперсии, структурирование подложки осуществляют путем нанесения на подложку слоя сферических наночастиц большего диаметра, чем наночастицы материала пленки, методом центрифугирования. Изобретение обеспечивает более тонкое структурирование подложки. 3 з.п. ф-лы, 4 ил., 4 табл.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК B82B 1/00 | Наноструктуры |
| МПК H01L 21/31 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей - с целью образования диэлектрических слоев на полупроводниках, например для маскирования или с использованием фотолитографической технологии; последующая обработка этих слоев; выбор материалов для этих слоевдля получения электродных слоев 21/28, герметизирующих слоев 21/56 |