Патент №2389032 - Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно, к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа. Технический результат изобретения заключается в повышении разрешения устройства. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, включает платформу, на которой установлены пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, измерительный зонд с держателем и блок управления. Причем сканирующее устройство установлено на механизме перемещения образца, а образец закреплен на сканирующем устройстве. 17 з.п. ф-лы, 8 ил.