Патент №2400858 - Способ формирования графеновых полевых эмиттеров

Изобретение относится к области электротехники, в частности к способу формирования графеновых полевых эмиттеров, используемых в различных электровакуумных устройствах, базирующихся на эмиссии электронов. В предложенном способе изготавливают пленочные плоские элементы, содержащие формообразующий и функциональный графеновые слои. При этом плоские пленочные элементы формируют на подложке с требуемым расположением по ее площади, в частности, регулярным. Затем пленочные плоские элементы отделяют от подложки и трансформируют их в эмиттеры с заданной трехмерной пространственной конфигурацией. Трансформацию осуществляют за счет действия механических внутренних напряжений, которые вводят в формообразующие слои либо при изготовлении пленочных плоских элементов, либо при трансформации, либо при отделении и трансформации плоских элементов в эмиттеры. Изготовленные по предложенному способу эмиттеры прецизионно расположены над подложкой и обладают прецизионно заданной пространственной конфигурацией и геометрическими размерами. Однородность эмиссии электронов по массиву эмиттеров, требуемая плотность эмиссии электронов, ее управляемость, масштабируемость размеров эмиттеров, оптимизация формы эмиттеров иерархической структуры, управляемость током эмиссии каждого из эмиттеров являются техническим результатом изобретения. 15 з.п. ф-лы, 9 ил.

Патент №2400858, изображение 1
Патент №2400858, изображение 2
Патент №2400858, изображение 3

Классификация патента

Код Наименование
МПК H01J 1/02Элементы конструкции электродов, устройств для магнитного управления, экранов, устройств для их крепления или размещения, общие для двух и более основных типов электронных и газоразрядных приборов - основные электроды
МПК H01J 1/62Элементы конструкции электродов, устройств для магнитного управления, экранов, устройств для их крепления или размещения, общие для двух и более основных типов электронных и газоразрядных приборов - люминесцентные экраны; выбор материалов для люминесцентных покрытий на баллонах
МПК H01J 9/00Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления электронных или газоразрядных приборов, разрядных осветительных ламп или их деталей; восстановление материала из электронных или газоразрядных приборов или ламп