Патент №2411179 - Наклоняюще-качающее приспособление для гибридизации микросхем методом перевернутого кристалла

Изобретение относится к области полупроводниковой микроэлектроники и может быть использовано при разработке оборудования для изготовления гибридных полупроводниковых микросхем методом перевернутого кристалла (flip-chip). Сущность изобретения: наклоняюще-качающее приспособление для гибридизации микросхем методом перевернутого кристалла состоит из основания, имеющего прямоугольный выступ с первым отверстием для вакуумной присоски и плоской поверхностью, на которую помещают микросхему с массивом микроконтактов. На плоской поверхности прямоугольного выступа выполнен слой упругого несжимаемого материала, имеющий второе отверстие для вакуумной присоски, которое частично или полностью соединено с первым отверстием для вакуумной присоски. Техническим результатом изобретения является повышение точности установки параллельности полупроводниковых микросхем, соединяемых методом перевернутого кристалла, не зависящее от оптических характеристик поверхностей соединяемых полупроводниковых микросхем, а также их качества, в частности кривизны, при этом не требуется модернизация приспособления для гибридизации микросхем измененного размера. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.