Патент №2411605 - Способ изготовления миниатюрных периодических систем электровакуумных свч приборов из меди с нано- и микрокристаллической структурой

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении резонаторных и замедляющих систем электровакуумных СВЧ приборов, в частности генераторов и усилителей миллиметрового и субмиллиметрового диапазона. Технический результат заявляемого изобретения - повышение технологичности изготовления периодических систем ламп бегущей и обратной волны, магнетронов и подобных электровакуумных СВЧ приборов в миллиметровом и субмиллиметровом диапазоне длин волн при обеспечении высоких выходных и эксплуатационных параметров приборов за счет снижения волновых потерь и повышения стабильности их функционирования. В предложенном способе из монолитного материала меди изготавливают ламели, имеющие ширину и рабочие зазоры между собой до 50, для чего формируют мелкозернистую структуру меди путем равноканального углового прессования со скоростью деформации 0,4 мм/сек при комнатной температуре и при общем числе циклов прессования, равном восьми, с последующим отжигом при температуре до 150°С с выдержкой до 1 часа для снятия напряжений. Из обработанной меди выполняют путем сочетания токарной обработки и электроискровой резки миниатюрные высокоточные периодические системы, имеющие ширину ламелей и рабочие зазоры между ними до 50 мкм. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.