Патент №2417156 - Исследовательский комплекс для формирования и изучения наноструктур и способ формирования наноструктур

Изобретение относится к области нанотехнологий и может быть использовано для формирования наноструктур из испаряемой микрокапли воздействием акустических полей. Технический результат - универсальность в отношении класса объектов, подвергаемых наноструктурированию. Комплекс для формирования наноструктур включает формирователь наноструктур, оптический микроскоп, средство отображения информации и средство обработки информации и управления комплексом. Формирователь наноструктур содержит основание и источник формирующего воздействия, при этом основание выполнено пьезоэлектрическим с возможностью нанесения на его поверхность исходного субстрата, а источником формирующего наноструктуру воздействия служат поверхностные акустические волны (ПАВ), причем для создания линии ПАВ на пьезоэлектрическом основании размещена пара встречно-штыревых преобразователей (ВШП) с возможностью возбуждения между ними акустического поля, а формирователь установлен в предметной плоскости оптического микроскопа, при этом ось визирования микроскопа ориентирована относительно основания под углом , помимо этого в комплекс введены генератор высокочастотных колебаний и соединенный с ним широкополосный усилитель, связанный с ВШП. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.

Патент №2417156, изображение 1
Патент №2417156, изображение 2

Классификация патента

Код Наименование
МПК B82B 3/00Изготовление или обработка наноструктур
МПК H01L 21/203Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей - физическим осаждением или напылением, например вакуумным распылением или разбрызгиванием