Патент №2423713 - Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно, к устройствам, обеспечивающим наблюдение, изменение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Кантилевер для сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) состоит из основания, к которому прикреплена двухслойная балочка с расположенной на дальнем от основания конце иглой. Балочка выполнена из композитного материала, причем один из слоев выполнен из активного термочувствительного или магниточувствительного материала с эффектом памяти формы (ЭПФ), который чувствителен к внешнему воздействию, а другой слой является упругим. Кантилевер позволяет повысить производительность СЗМ за счет уменьшения непроизводительных затрат времени при проведении исследований. 1 ил.

Патент №2423713, изображение 1

Классификация патента

Код Наименование
МПК B82B 3/00Изготовление или обработка наноструктур
МПК G01Q 70/08Общие аспекты SPM зондов, их изготовление или относящееся к ним оснащение в той мере, в какой эти зонды не являются специально предназначенными для одного конкретного типа техники SPM, охватываемых одной из групп G01Q 60/00 - характеристики зондов