Патент №2426190 - Способ формирования наноразмерных структур

Изобретение относится к способам получения наноразмерных структур и может найти применение, в частности, в микроэлектронике, а также при изготовлении модулей памяти со сверхвысокой плотностью записи, наносенсоров, молекулярных сит, игл-зондов сканирующих туннельных микроскопов. Технический результат - обеспечение перемещения исходного нанодисперсного вещества в пространстве с возможностью постоянного контроля и корректировки размеров и формы создаваемых наноразмерных структур. Способ формирования наноразмерных структур включает перемещение нанодисперсного вещества в пространстве с помощью электронного луча, боковую сторону которого сближают с нанодисперсным веществом на расстояние не более 10 нм, затем электронный луч перемещают по заданной траектории, определяющей форму создаваемой наноразмерной структуры. Для перемещения нанодисперсного вещества используют сфокусированный электронный луч сканирующего электронного микроскопа. 1 з.п. ф-лы, 7 ил.