Патент №2428763 - Способ получения канальной матрицы

Изобретение предназначено для использования в мембранных нанотехнологиях для производства нанофлюидных фильтров, биосенсорных устройств, приборов медицинской диагностики. Сущность изобретения: в способе получения канальной матрицы после анодного травления пластины монокристаллического кремния дырочного типа с затравочными ямками на поверхности в растворе электролитов, содержащем ионы водорода и фтора, и вскрытия каналов проводят осаждение материалов на фронтальную поверхность пластины до получения заданного поперечного размера каналов. Техническим результатом изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик за счет высоких механических и структурных свойств, значительное увеличение диапазона поперечных размеров каналов, что позволяет расширить номенклатуру изделий мембранной техники на основе биосовместимого и высокотехнологичного кремния. 9 з.п. ф-лы, 6 ил.