Патент №2431812 - Эмиссионный способ контроля скорости осаждения и состава покрытий, наносимых в вакууме

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в приборостроении, электронной промышленности и машиностроении для контроля скорости осаждения и состава осажденных покрытий. В способе регистрируют эмиссионные спектры атомов парового потока, проходящего между анодом и катодом и пересекающего поток электронов низкой энергии. Электронный поток помещают в магнитное поле и регистрируют эмиссионные линии посредством ПЗС. Техническим результатом является увеличение интенсивности эмиссионных линий парового потока без увеличения тока накала катода, эмиссионного тока и энергии возбуждающих электронов, за счет чего повышается отношение уровня интенсивности эмиссионных линий к уровню шумов, создаваемых излучением нити катода. 2 ил.