Патент №2448341 - Устройство для контроля шероховатости поверхности диэлектрических подложек
Изобретение относится к оптическому приборостроениию. Устройство позволяет контролировать качество поверхности подложек и может найти применение в оптическом приборостроении, например, для контроля качества подготовки поверхностей подложек интегрально-оптических устройств, лазерных зеркал и т.д. На подставке располагается исследуемая подложка. В верхней относительно подложки полуплоскости установлены два источника света, оснащенные рассеивающими фильтрами, так чтобы горизонтальные проекции осей этих источников были перпендикулярны. Под подложкой соосно с видеокамерой установлен третий источник света. Описанное расположение источников света повышает точность и производительность и позволяет измерять шероховатость большего числа видов подложек. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК G01B 11/30 | Приспособления к измерительным устройствам, отличающиеся оптическими средствами измерения - для измерения шероховатости или неровностей поверхностей |
| МПК G01N 21/88 | Исследование или анализ материалов с помощью оптических средств, т.е. с использованием инфракрасных, видимых или ультрафиолетовых лучей - выявление дефектов, трещин или загрязнений |