Патент №2453511 - Способ формирования погруженного оптического волновода в стекле

Изобретение относится к технологии оптических материалов и может быть использовано в интегральной оптике для изготовления волноводов и волноводных структур, а также для изготовления волноводных датчиков и сенсоров. Изобретение решает задачу повышения точности и технологичности изготовления погруженных в тонких приповерхностных слоях стекол оптических волноводов заданной геометрии с высоким эффективным показателем преломления и малыми оптическими потерями, варьирования глубины залегания волновода и его толщины. Способ заключается в том, что поверхность стекла, содержащего ионы щелочного металла, например Na, K, Li, в области формирования волновода облучают электронами с энергией 5-20 кэВ и дозой облучения 0,5-10 мК/см2 при плотности электронного тока 0,5-10 мкА/см 2. Для повышения эффективного показателя преломления волновода и увеличения его толщины после облучения электронами стекло подвергают термообработке при температуре 350-400°C в течение 1-2 ч. 1 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.