Патент №2468121 - Устройство для резистивного испарения металлов и сплавов в вакууме
Изобретение относится к оборудованию для нанесения металлических покрытий в вакууме и может найти применение в космической, авиационной промышленности и радиотехнике. Устройство для резистивного испарения металлов и сплавов в вакууме состоит из установленных в вакуумной камере двух токоподводов, протяженных и выполненных гибкими испарительных элементов, предназначенных для нагрева и испарения навесок испаряемого материала, размещаемого на испарительных элементах, а также источник питания и пульт управления. Устройство снабжено тиристорами, связанными с источником питания и пультом управления и установленными на одном из токоподводов. Тиристоры оснащены зажимами, в каждом из которых концом закреплен испарительный элемент, а второй конец каждого из которых связан с другим токоподводом и с введенным в устройство натяжным элементом. Расширяются технологические возможности устройства, повышается качество покрытия и снижается время нанесения его на газонасыщенные изделия большой площади из неметаллических композиционных материалов. 2 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК C23C 14/26 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева |