Патент №2472165 - Сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и других характеристик объектов, преимущественно в биологии, с одновременным оптическим наблюдением объекта в проходящем через объект свете. СЗМ содержит предметный стол инвертированного оптического микроскопа и измерительную головку, включающую основание с опорами для установки на предметный стол, блок XYZ сканирования с установленными на нем зондовым датчиком, лазером и фотоприемником, оптические компоненты для направления лазерного луча на зондовый датчик и от зондового датчика на фотоприемник, а также юстировочные элементы. Юстировочные элементы установлены на основании с возможностью осуществления параллельного сноса лазерного луча. Технический результат - возможность использовать для оптического наблюдения систему освещения с повышенной апертурой, повышение скорости сканирования. 6 з.п. ф-лы, 6 ил.