Патент №2478463 - Устройство для одностороннего утонения пластин

Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано при производстве изделий микро- и оптоэлектроники для односторонней обработки, преимущественно шлифованием и полированием, пластин стекла, керамики, сапфира, кварца, кремния, арсенида и других материалов. Устройство содержит шлифовально-полировальный стол с приводом вращения и самоустанавливающийся шпиндель 3 с шарнирно закрепленным устройством перемещения шпинделя. Шпиндель выполнен в виде планшайбы с зонами фиксации пластин рабочей стороной к поверхности планшайбы через упруго-эластичную прокладку. Шлифовально-полировальный стол выполнен в виде планшайбы с кольцевой зоной алмазно-абразивных элементов, закрепленных на ее поверхности. Зоны фиксации пластин выполнены из материала с микроотверстиями или порами для подачи вакуума через устройство перемещения шпинделя. Последнее имеет с одного конца вакуумно-плотные втулки, а с другого - вращающийся вакуумно-плотный цанговый соединитель с вакуумным шлангом. В результате повышается производительность процесса при увеличении выхода годных изделий и улучшаются геометрические параметры пластин за счет уменьшения удельных нагрузок и исключения деформации пластин. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.