Патент №2486278 - Вакуумная камера на рамном основании для установок для нанесения покрытий
Изобретение относится к вакуумной камере для установок для нанесения покрытии. Камера включает в себя раму камеры. В раму механически разъемно и герметично вставлены вставные панели, причем некоторые из вставных панелей несут функциональные элементы. Рама камеры включает в себя, по меньшей мере, одну основную поверхность с консолями, вырезанную из отформованной цельной металлической панели. Консоли отогнуты в области присоединения к основной поверхности таким образом, что они образуют перемычки рамы камеры. За счет того, что боковая поверхность рамы образована из цельной металлической части, в которой вырезан материал с большой поверхностью, получают отверстия для вставных панелей, при этом там, где вставлены вставные панели, не требуются никакие сварные швы. 10 з.п. ф-лы, 10 ил.
Классификация патента
Код | Наименование |
---|---|
МПК B05B 15/12 | Конструктивные элементы и вспомогательные устройства для распылителей или разбрызгивающих установок, не отнесенные к другим группам - камеры для распыления |
МПК C23C 14/22 | Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие - характеризуемые способом покрытия |
МПК C23C 16/44 | Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) - характеризуемые способом покрытия 16/04 имеет преимущество |