Патент №2486283 - Устройство для каталитического химического осаждения из паровой фазы
Изобретение относится к устройству для каталитического химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано для формирования пленки на подложке. Устройство содержит реакционную камеру, установленное в реакционной камере средство поддержки, предназначенное для поддержки подложки, подлежащей обработке, источник введения газа, предназначенный для введения в реакционную камеру исходного газа, содержащего подлежащий нанесению элемент, проволочный катализатор, расположенный напротив указанной подложки и выполненный из танталовой проволоки со слоем борида тантала, который предварительно сформирован на поверхности танталовой проволоки перед введением исходного газа. Упомянутое устройство также содержит источник тепла, предназначенный для нагревания проволочного катализатора для осаждения на подложке продуктов разложения исходного газа, образованных катализом или реакцией термического разложения. Упомянутое устройство дополнительно содержит средство контроля для выполнения активирующего нагревания проволочного катализатора источником тепла посредством непрерывной подачи энергии. Обеспечивается продление срока службы проволочного катализатора за счет уменьшения термического расширения проволочного катализатора и увеличения его механической прочности. 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 1 пр.
Классификация патента
| Код | Наименование |
|---|---|
| МПК C23C 16/44 | Химическое нанесение покрытия путем разложения газообразных соединений, причем продукты реакции материала поверхности не остаются в покрытии, т.е. способы химического осаждения паров (ХОП) - характеризуемые способом покрытия 16/04 имеет преимущество |
| МПК H01L 21/205 | Способы и устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки полупроводниковых приборов или приборов на твердом теле или их частей - разложением газовой смеси с выходом твердого конденсата или химическим осаждением |