Патент №2490620 - Электростатический энергоанализатор заряженных частиц

Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичными электронами с поверхности твердого тела. Сущность изобретения заключается в том, что электростатический энергоанализатор заряженных частиц содержит коаксиально размещенные внутренний и внешний цилиндрические электроды; экранирующий электрод, электрически связанный с внутренним цилиндрическим электродом, внутренние и внешние корректирующие кольца, электрически изолированные друг от друга и от цилиндрических электродов, выполненные на боковой поверхности цилиндрического электрода и затянутые мелкоструктурной металлической сеткой входную и выходную кольцевые прорези (окна) для пролета вторичных электронов, исследуемый образец, встроенную электронную пушку для формирования сфокусированного потока первичных электронов, выходную дырочную диафрагму, приемник электронов, блок развертки потенциала внешнего цилиндрического электрода, делитель напряжения развертки, подключаемый к корректирующим кольцам, причем размещенные ближе к входному окну корректирующие кольца имеют коническую форму, а корректирующие кольца, размещенные ближе к выходному окну, являются дисками с отверстиями, при этом система компенсации краевых эффектов состоит из двух пар корректирующих колец, создающих электростатическое поле в рабочем пространстве анализатора, обеспечивающее угловую фокусировку четвертого порядка вблизи центрального угла 40°. Технический результат - повышение энергетического разрешения. 2 ил.